BJD1800 Process Table

Film Table

Film Mat Cruc. Voltage  Rise1 Soak1 Rise2 Soak2 Sweep Xoffset Yoffset Ampl. Pwr Prof.  Phase   Speed  Rate (A/s)
1 Al none  9kV  40% - 3'  1'  65% - 2'  30"  figure 8 0.1 0.3 0.2 fast 
2 Ti Graph.  9kV 6% - 30" 30" 10% - 30" 30"   figure 8 0.1 0.3 0.2  1 0 Fast 1
3 Au  Molyb.  9kV 20% - 2' 1'  30% - 1'  30"   figure 8 0.1 0.3 0.2 Fast 
4 Ni  C.G.  9kV  7%-3'  1'  10%-2'  30"  figure 8 0.1 0.3 0.2 1 0 Fast 1
5 Pt    9KV  15%-1.5'  30"  40%-2'  30"   figure 8  0.1  0.3  0.2  1  0  Fast  1
6 Pd    9KV  4%-2'  1'  11%-2'  30"  figure 8  0.1  0.3  0.2  1  0  Fast  1
7 Zn                           
8 Ge     9KV 12.5%-2'  1'  25%-2"  30'  figure 8  0.1 0.3  0.2 1  0  Fast  1
9 FeNi  Graph. 9kV   manual dep only                  
10   Cr Manual dep 9kV  1.5%-1'  30"  7%-2'  30"   figure 8  0.1  0.3  0.2  1  0  Fast  2
11 Si C.G. 9kV 7.5% - 45mA - 2' 1'  20%-2' 30"   figure 8 0.1  0.3  0.2  1  0 Fast  1
12 Ag Graph. 9kV 15%-1'30'' 30"  30% 30"   figure 8 0.1 0.3 0.2 1 0 Fast 2
18 SiO2 Manual Dep 9KV 1.5%                     Vary, manually adjust power
19 SiO Manual Dep 9KV 1.5%                     Vary, Manually adjust power
20 Fe Dev 9KV 3% long ramp up 6% long ramp up figure 8 0.1 0.3 0.2 1 0 Fast  
21 ZnO Und dev 9kv                        

 

 

Process Table

Process Layers Rate
1 Al  1A/s
2 Ti 1A/s
3 Au 1A/s
4  Ni  1A/s
5  Pt  1A/s
6  Pd 1A/s
7    
8  Ge  1A/s
9 Ti
Au 
1A/s
1A/s
10 Cr 1A/s 
 11

Ni
Au

 
 12  Si  1A/s
 13

 Cr

Au

1A/s

1A/s

 14

 Pd

Ti

Pd

Au

 1A/s

1A/s

1A/s

1A/s

 15

 Ni

Ge

Au

 
 16

 Ti

Ni

Au

1 A/s

1 A/s

1A/s

 17  Ag  

2A/s

 22  SiO2  Vary
 23  SiO  Vary
 24  Dev  1A/s
 25  ZnO  Vary